سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: دومین همایش ملی مهندسی اپتیک و لیزر ایران

تعداد صفحات: ۵

نویسنده(ها):

علیرضا همت – گروه فیزیک، دانشگاه ارومیه، ارومیه، ایران
ارش ثباتیان –

چکیده:

برای ساخت قطعات میکرواپتیکدو تکنیکلیتوگرافی پیمایشی و ماسکلیتوگرافی وجود دارد. در این مقاله روشجدیدی درحوزه ی ماسکلیتوگرافی برای ساخت قطعات میکرواپتیکگوه مانند ارائه شده است. در این روششدت نور فرودی به روی فوتورزیست با استفاده از توری پراشی دامنهای با فرکانسفضایی متغییر کنترل میشود. انواع روشهای ساخت ، نحوهی طراحی ماسکپلیتهای کرومی ، تست اپتیکی الگوها در مقیاس بزرگتر قبل از انتقال به روی ماسکپلیت و مراحل ساخت قطعه موردنظر با استفاده از تکنیک ماسکلیتوگرافی در این مقاله شرح داده شده اند