سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: هفتمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی

تعداد صفحات: ۷

نویسنده(ها):

حمیدرضا فلاح – گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان
محمد امیری شهبازی – گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان
هادی عسگری – مجتمع صنعتی بشیر

چکیده:

لایه های نازک اکسید-ایندیم-قلع(ITO) با روش کندوپاش فعال مگنترون – DC در یک سیستم کندوپاش عمودی تهیه شده است . اثر دمای بستره و سرعت حرکت شیشه در مقابل هدف سرامیکی بر
مقاومت الکتریکی سطحی و همچنین اثر توان کندوپاش بر مقاومت الکتریکی سطحی، میزان تر اگسیل و بازتاب از سطح لایه نازک اندازه گیری شده است . پس از بدست آوردن شرایط بهینه مقاومت الکتریکیسطحی برابر □/۷ ۱۲ Ω ، تراگسیل مرئی ۰۵/۸۷% و بازتاب در محدوده فروسرخ (طول موجμ m 50-2/5)بیش از ۸۲/۳۳% بدست آمد که مقادیر مناسب برای پوشش های کم – گسیل می باشند . با استفاده از داده های اپتیکی طول موج پلاسما محاسبه شده است و به کمک تئوری های موجود برای الکترون های آزاد تراکم حامل های بار و همچنین تابع شایستگی برای نمونه های مختلف حساب شده است . نتایج این محاسبات کاملا با نتایج گزارش شده مطابقت دارد .