سال انتشار: ۱۳۸۶

محل انتشار: پانزدهیمن کنفرانس مهندسی برق ایران

تعداد صفحات: ۶

نویسنده(ها):

فرشاد بابازاده – گروه برق، دانشکده مهندسی دانشگاه فردوسی مشهد
سیدحسن کشمیری – گروه برق، دانشکده مهندسی دانشگاه فردوسی مشهد

چکیده:

در این مقاله، طراحی و شبیه سازی یک فیلتر ریز الکترومکانیکی برای کاربرد در فرکانس میانی MHz(IF) 70 با بکار گیری تکنولوژی MEMS که سازگار با فرایندهای ساخت مدارهای مجتمع می باشد، گزارش می شود. فیلتر ریزالکترومکانیکی مبتنی بر تزویج سری دو ریز تشدید گر با ضریب کیفیت (Q) بالا در گستره چند هزار بوده و با دو فناوری ریز ماشین کاری سطحی پلی سیلیکون و ریز ماشینکاری حجمی ویفرهای SOI قابل ساخت می باشد. این ریز تشدید گر که دارای ساختار و طراحی کاملاً جدید است، فرکانس میانی فیلتر را تعیین کرده و یک فنر تزویج مکانیکی، پهنای باند فیلتر را مشخص می کند. برای جلوگیری زا اثر بارگذاری فنر تزویج بر روی تشدیدگر ها ، از تزویج ربع طول موج (/۴) استفاده شده است. ساختار مکانیکی فیلتر ریز مکانیکی طراحی شده به صورت تحلیلیجز محدود (FEA) با استفاده از نرم افزار SUGAR , ANSYS انجام شده و مدل مکانیکی استخراج شده در محیط MATLAB شبیه سازی شده است . فلیتر طراحی شده دارای فرکانس مرکزی ۷۰MHzپهنای باند Q,600kHz برابر با ۱۱۸، اتلاف عبوری ۰/۵۱Db و SFDR برابر با ۸۶Db می باشد. علاوه بر مشخصات بسیار خوبذکر شده امپدانس های ورودی و خروجی فیلتر درحدود ۱۶ کیلواهم بوده که برای تزویج مستقیم این فیلتر قبل و بعد از آن، مناسب میباشد. لازم به ذکر است که امپدانس ورودی و خروجی بالای این نوع فیلترهای ریز مکانیکی با مبدل الکتروستاتیکی، یکی از چالش برانگیز ترین موضوعات مرتبط با این نوع قطعات بوده است که با ارائه این طرح جدید ، این مساله قابل حل می باشد.