سال انتشار: ۱۳۸۴

محل انتشار: سیزدهمین کنفرانس سالانه مهندسی مکانیک

تعداد صفحات: ۸

نویسنده(ها):

محمد دورعلی – استاد دانشگاه صنعتی شریف – دانشکده مهندسی مکانیک
علیرضا فتحی – دانشجوی دکتری دانشگاه صنعتی شریف – دانشکده مهندسی مکانیک
امیر خواجه پور – دانشیار دانشگاه صنعتی شریف – دانشکده مهندسی مکانیک
احسان تویسرکانی – استادیار دانشگاه صنعتی شریف – دانشکده مهندسی مکانیک

چکیده:

در این مقاله برای اولین بار مساله شناسایی و کنترل بلادرنگ فرآیند لایه نشانی با لیزر مورد بررسی قرار خواهد گرفت . روش استفاده شده برای شناسایی سیستم استفاده از الگوریتم بازگشتی حداقل مربعات خطا (Recursive Least Square)می باشد . بر این اساس ساختار انتخاب شده برای مدل سیستم، مدلARMAXمی باشد . بعلت برتریهای زیادی که روش MPC(Model Predictive Control) نسبت به سایر روشهای کنترلی دارد، بخصوص وجود قیدهای مختلف روی پارامترهای کنترلی سیستم LPD ، این روش برای کنترل فرآیند مورد نظر استفاده شده و فرمولاسیون جدیدی نیز ارائه شده است . صحت نتایج نیز با نتایج تجربی و شبیه سازی های کامپیوتری ارزیابی گردید .