سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: نهمین کنفرانس ماده چگال

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

محمد اسماعیل عظیم عراقی – گروه فیزیک، دانشگاه تربیت معلم،تهران،ایران
ساشا هوشیان –
حمیده اسکندری تربقان –

چکیده:

لایه های سیلیسیوم متخلخل ( ps) علاوه بر کاربردهای زیادی که در شاخهء الکترواپتیکی دارند، در ساخت حسگرهای گازی نیز مورد توجه قرار گرفته است. در این کار، ما به گزارش مطالعاتی بر روی لایه های سیلیسیوم متخلخل به عنوان حسگر گازی و معرفی رفتار الکتریکی لایه های سیلیسیوم متخلخل نوع (p) در حضور گاز Co2 در شرایط آماده سازی مخ لف از جمله غتظت لکترولیت،چگالی جریان آندی سازی و زمان سونش می پردازیم.همچنین ما توانستیم رابطهء بین مقدار تخلخل بر روی سطح سیلیسیوم وفاصلهء بین ویفر سیلیسیوم به عنوان آند(+)و پلاتین به عنوان کاتد(-)، در روش الکتروشیمیایی برای تولید سیلیسیوم متخلخل را توجیه کنیم. مکانیسم حس کردن گاز بر پایهء جذب سطحی مولکول های گاز است که منجر به افزایش رسانایی می شود. نتایج نشان دهندهء آن است که ا جذب Co2 جریان الکتریکی نیز به طور قابل ملاحظه ای افزایش می یابد. با توجه به این مشاهدات می توان کاربردهای سیلیسیوم متخلخل را در آینده به عنوان حسگر گازهای شیمیایی پیشنهاد کرد.