سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: نهمین کنفرانس ماده چگال

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

بابک علی نژاد – آزمایشگاه ترموالکتریک ،پژوهشکده نیمه هادی ها،پژوهشگاه مواد و انرژی
داوود کلهر – گروه فیزیک دانشکده فیزیک دانشگاه علوم پایه دامغان
مرتضی ایزدی فرد – گروه فیزیک دانشکده علوم پایه دانشگاه صنعتی شاهرود
کورش محمودی – آزمایشگاه ترموالکتریک ،پژوهشکده نیمه هادی ها،پژوهشگاه مواد و انرژی

چکیده:

در این تحقیق زیر لایه فولاد HSS با ضخامتهای مختلف نیترید تیتانیم، به روش کاشت یونی در شرایط خلاء پوشش داده شد . مورفولوژی و زبری سطح لایه های پوشش داده شده بصورت تابعی از ضخامت و زبری اولیه با استفاده از یک میکروسکوپ نیرو اتمی (AFM) بررسی گردید. نتایج نشان میدهد که با افزایش ضخامت لایه TiN، زبری سطح به مقدار اشباع خود میرسد که بستگی به زبری اولیه زیرلایه دارد.