سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: ششمین کنفرانس سالانه دانشجویی مهندسی مکانیک

تعداد صفحات: ۲

نویسنده(ها):

اردشیر کرمی محمدی – استادیار ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج
رضا کاظمی اسفه – کارشناسی ارشد مهندسی مکانیک ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج

چکیده:

میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM)،یکی از انواع مهم میکروسکوپهای روبشی کاوشی است. مهمترین قسمت این میکروسکوپ، کاوشگر آن بوده. ارتعاشات کاوشگر تاثیر بسیاری بر کیفیت تصاویر حاصله دارد و همچنین باعث صدمه دیدن نانوشئها و سوزن میکروسکوپ شده است. در این تحقیق ، پس از مدلسازی کاوشگر به روش اجزای محدود، به کنترل ارتعاشات کاوشگر به کمک کنترلر LQRپرداخته شده است.کاوشگر به صورت تیری یکسر گیردار با سطح مقطع یکنواخت مستطیل شکل در نظر گرفته شده که به اندازه ی سطح زیری آن ، پیزوالکتریکی متصل شده و کار عملگر کنترلر را انجام داده است.