سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: نهمین کنفرانس دانشجویی مهندسی برق

تعداد صفحات: ۱۴

نویسنده(ها):

لیلا محمدیان – دانشگاه تبریز – دانشکده برق و کامپیوتر
شهلا شوقیان – دانشگاه تبریز – دانشکده برق و کامپیوتر

چکیده:

با پیشرفت تکنولوژی امروزه نیازمند داشتن لوازم دقیق تر در صنعت و پزشکی و کشاورزی و سایر علوم هستیم. NEMS و MEMSاین امکان را برای تحول در زندگی انسان فراهم ساخته است از این رو در اینجا سعی بر این استتا بعد از آشنایی کلی با این تکنولوژی نو زمینه هاو کاربردهای آن , نحوه طراحی و اصول ساخت و گونه های تلفیقی آن با سایر علوم مورد بررسی قرار گیرد.در پایان با نحوه طراحی مدارهای مجتمعCMOS " MEMS که جدید ترین شاخه " MEMS است آشنا می شویم.